Cảm biến áp suất chân không Inficon
Cảm biến áp suất chân không Inficon là thiết bị đo lường chính xác, được ứng dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp yêu cầu kiểm soát áp suất chân không như mạ PVD, đúc chân không, và sản xuất điện tử.
Một trong những sản phẩm tiêu biểu của Inficon là cảm biến áp suất chân không Pirani Model PSG 500, sử dụng công nghệ Pirani tiên tiến, với thiết kế nhỏ gọn và khả năng kết nối nhanh chóng. PSG 500 có dải đo từ 5×10^-4 đến 1000 mbar, với sai số ±15% trong khoảng 1×10^-3 đến 100 mbar, và ±50% trong các khoảng khác.
Đặc biệt, PSG 500 có thể thay thế trực tiếp cho dòng cảm biến TTR-91/TTR-96 của Leybold mà không cần cài đặt lại bất kỳ thông số nào.
Các loại cảm biến Áp suất chân không Inficon:
Cảm biến áp suất chân không Pirani:
PSG500: Sử dụng công nghệ Pirani tiên tiến, PSG500 có thiết kế nhỏ gọn và kết nối nhanh chóng, phù hợp cho các ứng dụng như mạ PVD và đúc chân không. Dải đo từ 5 x 10<sup>-4</sup> đến 1000 mbar, với độ chính xác ±15% trong khoảng 1 x 10<sup>-3</sup> đến 100 mbar.
Cảm biến áp suất chân không điện dung:
CDG025D và CDG045D: Sử dụng công nghệ điện dung, các cảm biến này cung cấp độ chính xác cao trong dải đo từ 10<sup>-5</sup> mbar đến áp suất khí quyển. Chúng được thiết kế để hoạt động ổn định trong môi trường công nghiệp và có khả năng bù nhiệt độ tốt.
Đồng hồ đo áp suất chân không:
Pilot Plus: Đây là đồng hồ đo chân không sử dụng cảm biến Pirani, cho phép đo từ áp suất khí quyển đến 1 micron (0,01 mbar). Thiết bị có màn hình LCD lớn, dễ đọc và hoạt động liên tục trong khoảng 45 giờ với một pin 9V.
Porter™ CDG020D: Là cảm biến áp suất tuyệt đối độc lập, sử dụng công nghệ điện dung với cảm biến gốm, cung cấp độ ổn định cao và khả năn
Ngoài ra, Inficon còn cung cấp các dòng cảm biến áp suất chân không khác
Như CDG045D và CDG025D, sử dụng công nghệ điện dung, cho phép đo áp suất trong khoảng từ 10^-5 mbar đến áp suất khí quyển. Các cảm biến này có độ chính xác cao và được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp khác nhau.
Việc lựa chọn cảm biến áp suất chân không phù hợp với ứng dụng cụ thể là rất quan trọng để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy của hệ thống. Inficon cung cấp đa dạng các loại cảm biến với các dải đo và công nghệ khác nhau, đáp ứng nhu cầu của nhiều ngành công nghiệp.
Cảm biến áp suất chân không INFICON dùng để đo
Giám sát và kiểm soát mức áp suất trong hệ thống chân không. Nó gửi tín hiệu đo về bộ điều khiển/PLC hoặc thiết bị hiển thị để hệ thống biết buồng chân không đang đạt mức áp suất yêu cầu hay chưa. INFICON có nhiều công nghệ đo như Pirani, cold cathode và hot ionization, tùy dải áp suất.
Cụ thể nó dùng để làm gì?
- Đo mức chân không trong buồng
- Theo dõi áp suất trong chamber.
- Xác định hệ thống đã đạt mức chân không cần thiết chưa.
- Điều khiển quá trình hút chân không
- Kết hợp với bơm chân không, van và bộ điều khiển.
- Khi áp suất đạt giá trị cài đặt, hệ thống có thể chuyển sang bước công nghệ tiếp theo.
- Giám sát quá trình sản xuất
- Đặc biệt quan trọng trong PVD, CVD, ALD, sputtering, coating và sản xuất bán dẫn. INFICON cho biết các gauge của hãng được sử dụng để kiểm soát áp suất trong các quá trình này.
- Bảo vệ hệ thống
- Phát hiện áp suất không đạt yêu cầu hoặc tình trạng bất thường.
- Có thể dùng tín hiệu áp suất để điều khiển bơm, van, nguồn điện hoặc liên động an toàn.
Ví dụ dễ hiểu
Trong một máy phủ chân không PVD:
Bơm chân không → Buồng coating → Cảm biến INFICON → Bộ điều khiển
Cảm biến liên tục đo áp suất trong buồng. Khi đạt mức chân không yêu cầu, bộ điều khiển cho phép quá trình coating bắt đầu. Nếu áp suất tăng bất thường, hệ thống có thể cảnh báo hoặc dừng quá trình.
INFICON cũng xác định vacuum coating, semiconductor, industrial coating và các hệ thống đo/điều khiển chân không là những ứng dụng điển hình của các dòng vacuum gauge của hãng.
Nếu viết trên website của bạn
Tên sản phẩm “Cảm biến áp suất chân không INFICON” có thể diễn giải ngắn gọn:
Cảm biến áp suất chân không INFICON là thiết bị dùng để đo và giám sát áp suất trong buồng chân không, hỗ trợ điều khiển bơm, van và quá trình sản xuất trong máy coating, PVD, CVD, bán dẫn, phòng thí nghiệm và các hệ thống chân không công nghiệp.
Lưu ý: Với mã MAG500 – P/N 3MA0-116-010N bạn hỏi trước đó, đây là trường hợp cụ thể thuộc nhóm Cold Cathode Gauge của INFICON, dùng cho vùng high/ultra-high vacuum, khác với các cảm biến Pirani dùng cho vùng chân không thấp hơn. Dòng Gemini MxG5xx/MAG5xx có dải đo tới khoảng 1×10⁻⁹ đến 1×10⁻² mba
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.